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压力传感器工艺介绍

发布日期:2017-07-17 07:18:38 访问次数:


  压力传感器在现代工业控制中的应用曾经十分深化,不同的行业以及应用环境对压力传感器的请求不一样,所以压力传感器的制造也有好几种工艺,各种工艺都有本人的特性。主要的制造工艺目前来说有下面四种:集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。
       1.集成压力传感器。集成传感器的消费工艺,和消费规范硅基半导体集成电路工艺是根本相同的。传感器经过集成方式停止制造后,能够取得更小的体积并集成更多的功用,局部集成传感器能够具有一局部处置功用,来处置被丈量信号。
  2.薄膜压力传感器。薄膜传感器的制造触及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制造办法是在介质衬底也就是基板上,用敏感资料构成一层薄膜。薄膜传感器在制造时也能够复合一些电路系统,这需求运用到混合工艺。
  3.厚膜压力传感器.厚膜传感器和薄膜传感器相对应,也是在基片上构成膜来停止制造,区别是厚膜传感器是在陶瓷制造的基片上,用敏感资料的浆料停止涂覆。厚膜传感器的制造资料多是氧化铝,涂层构成后停止热处置,这样厚膜即可成型。
  4.陶瓷压力传感器.陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统资料的应用,陶瓷传感器所运用的陶瓷资料是精密陶瓷也被称为高科技陶瓷,陶瓷传感器的制造主要是依托规范的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺,完成恰当的准备性操作之后,将成形的元件在高温中停止烧结。
      传感器的各种制造工艺之间并没有明白的优劣之分,各个制造工艺都有本人的优点和缺乏,只是在面对不同的应用时对压力传感器有不同的选择。比方电子消费产品中应用的传感器都是采用集成式的,而在面对一些腐蚀性介质的时分,选用陶瓷压力传感器更为适宜。
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